硅片检测分选机主要用于硅片进行检测和分类,并提供检测数据及分类汇总数据,能正常实现硅片的平均厚度、TTV、电阻率、导电类型,线痕值、隐裂、可见裂纹、杂质、穿孔、脏污、崩边、缺角、边长、倒角长度、对角线长度、直角边长度、垂直度、平行度、项目的检测功能,并根据检测结果和设置的分类方式进行判断分类。
主要技术要求
1.传输速度≤0.45s /片,产能≥8000片/h(不同尺寸有所不同) 。
2.碎片率≤0.1%。
3.设备开机率≥98%(设备开机率=月设备正常运行时间/月计划开机时间)。
4.设备的上料架机构能匹配使用依据我司提供花篮图纸设计的30片层花篮。
5.检测和分选设备噪音≤60dB(A)。
6.设备具有断电或报警触发时的安全停机功能,确保运行参数的安全存储。
7.下料分类区域实现13个下料盒,其中至少有2个四层下料盒,其余的至少是单层下料盒。
8.开放数据库,方便MES 的访问对接。